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材料樣品檢測
微型真空探針熱臺
KT-Z165M44RT實驗室微型四探針真空探針臺
產(chǎn)品簡介
                  實驗室微型四探針真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
| 品牌 | 鄭科探 | 價格區(qū)間 | 面議 | 
|---|---|---|---|
| 自動化度 | 手動 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 
| 應用領域 | 電子/電池 | 
實驗室微型四探針真空探針臺主要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
   該實驗室微型四探針真空探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面最高可升溫到最高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-20mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測




真空腔體  | ||
  | 加熱型  | 冷熱型  | 
腔體材質  | 304不銹鋼  | |
上蓋開啟  | 鉸鏈側開  | |
加熱臺材質  | 304不銹鋼  | |
內(nèi)腔體尺寸  | φ160x90mm  | |
觀察窗尺寸  | Φ70mm  | |
加熱臺尺寸  | φ60mm  | |
觀察窗熱臺間距  | 75mm  | |
加熱臺溫度  | 35-350℃  | -196-350℃  | 
加熱臺溫控誤差  | ±1℃  | |
真空度  | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa  | |
允許正壓  | ≤0.1MPa  | |
真空抽氣口  | KF25真空法蘭  | |
氣體進氣口  | 3mm-6mm卡套接頭  | |
電信號接頭  | SMA轉BNC X 4  | |
電學性能  | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培  | |
探針數(shù)量  | 4探針  | |
探針材質  | 鍍金鎢針  | |
探針尖  | 10μm  | |
探針移動平臺  | ||
X軸移動行程  | 30mm ±15mm  | |
X軸控制精度  | ≤0.01mm  | |
Y軸移動行程  | 13mm ±12.5mm  | |
Y軸控制精度  | ≤0.01mm  | |
Z軸移動行程  | 13mm ±12.5mm  | |
Z軸控制精度  | ≤0.01mm  | |
電子顯微鏡  | ||
顯微鏡類別  | 物鏡  | |
物鏡倍數(shù)  | 0.7-4.5倍  | |
工作間距  | 90mm  | |
相機  | sony 高清  | |
像素  | 1920※1080像素  | |
圖像接口  | VGA  | |
LED可調(diào)光源  | 有  | |
顯示屏  | 8寸  | |
放大倍數(shù)  | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm  | |